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抽象的

用于悬栅 MOSFET 的紧凑型低刚度 MEMS 栅极的设计和仿真

Richik Kashyap、S.Baishya 和 Johnson Taye

在本文中，首先引用和回顾了固定梁 MEMS 开关的一些设计方面，并根据所涉及的相关力学，我们为移动门开发了一种新的紧凑架构，应采用低驱动电压悬浮栅极 MOSFET 以及更快的开关。带有蛇形柔性铰链的厚度为0.6μm的悬浮金金属梁可用作SG-MOSFET的移动栅极，其长度和宽度恰好等于MOSFET的栅极长度和宽度，因此在MOSFET的外部没有支撑结构衬底域，导致器件的紧凑性。总而言之，使用蛇形折叠悬架，在金梁上限定小孔，