质谱与纯化技术杂志
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抽象的

使用新原理进行 AuGe-LMIS 的质量分离：旋转电场

野岛正志、则川时夫、岸本直也

我们一直在开发一种使用两个旋转电场 (REF) 的新型原理型质量分析器。该质量分析仪可以实现自由质量范围内离子束的连续质量分离并在二维（2D）平面上同时检测。在本文中，我们的目标是在适当的频率下质量分离 AuGe 液态金属离子源 (LMIS)。然后，我们通过理论计算模拟了 REF 中的离子轨迹，并确定了每个环形图案的起源。最后，我们通过对 Si 晶圆上印刷的 AuGe 环形图案进行飞行时间二次离子质谱 (TOF-SIMS) 成像，证实了理论计算的确定性。