化学工程与过程技术杂志
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抽象的

了解热式质量流量计与各种过程气体的兼容性

Sashi Kumar GN、Mahendra AK 和 Gouthaman G

大多数真空工艺使用热式质量流量计 (TMFM) 作为工艺气体的计量装置。本文的目的是建立TMFM与不同工艺气体的交叉兼容性关系。本文使用可压缩计算流体动力学 (CFD) 求解器来了解 TMFM 在不同工艺气体下的行为。还研究了较低压力下特性曲线的变化。已经开发出经验相关性，以便可以根据不同气体的物理性质准确预测 TMFM 特征曲线的变化。