全球工程设计与技术杂志
开放获取

抽象的

基片温度对静电喷涂沉积Zno:al薄膜结构性能的影响

UE Uno、KU Isah 和 TO Daniel

采用静电喷雾沉积法在钠钙、玻璃基板上制备了氧化锌和铝掺杂ZnO（AZO）薄膜。研究了基材温度（300、350、400 和 450 ℃）对薄膜结构性能的影响。X射线衍射分析表明，这些薄膜是多晶的，具有六方（纤锌矿）结构，无论其基底温度如何，并且沿着（002）面呈现择优取向。影响并计算了颗粒尺寸、应变和位错密度等微观结构参数。发现AZO的粒径在70.6 nm至95.34 nm范围内。薄膜的厚度随着基板温度的升高而减小，在0.23～0.15μm的范围内。